حكاكی لایه نازك sio2 وsi3n4

حكاكی لایه نازك sio2 وsi3n4

دانلود فایل

حكاكی لایه نازك sio2 وsi3n4 حکاکی لایه نازک SiO2 معمولاً بوسیله رقیق کردن یا Buffer کردن HF انجام می شود. حکاکی های PSG 10 بار سریع تر از اکسید رشد یافته حرارتی می باشد. حکاکی Anisotropic در مورد Si با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون در ترکیبی از C2 F6و CH3F انجام می شود. قابلیت انتخاب روی Si خوب است، امّا روی Si3N4  خوب نیست .  حکاکی لایه نازک Si3N4 حکاکی کننده تر در دمای H3PO4,140 – 200OC   می باشد. SiO2حاصل از لایه نشانی بخار شیمیایی یک ماسک حکاکی خوب است. قابلیت انتخاب روی Si خیلی خوب است. حکاکی Anisotropic برای Si3N4 با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون ( Ion assisted Plasma etching ) در ترکیبی از C2F6و CH3F انجام می شود. در میکروماشینینگ سطحی در میکرو ماشینینگ توده ای ساختارهای میکرونی به وسیله حکاکی توده ای از ویفر سیلیکون برای دستیابی به نتیجه دلخواه تشکیل می شوند. در میکروماشینینگ سطحی چندین لایه نازک روی ویفری یا هر زیر لایه مناسب دیگر قرار می گیرند. این لایه ها شامل یک ماده بنیادین مثل پلی سیلیکن و یک ماده قربانی ( Sacrifical ) مثل اکسید می باشند. این لایه ها به ترتیب لایه نشانی و حکاکی خشک می شوند. آخر سر ماده قربانی از طریق حکاکی تر حذف   می شود. لایه های بیشتر و ساختارهای پیچیده تر باعث سخت شدن فرآیند ساخت می شود. یک میله سگدست میکرو ماشین شده سطحی ساده در شکل 2 – 40 نشان داده شده است. یک لایه قربانی از اکسید روی سطح ویفر لایه نشانی شده، سپس یک لایه پلی سیلیکن لایه نشانی شده و با استفاده از روش های RIE به یک میله با یک Anchor pad الگو دهی می شود. ( شکل a ). سپس به وسیله یک حکاکی تر لایه اکسید زیر میله برداشته می شود ( شکل b ). Anchor pad از زیر Pad  برداشته شود، ویفر از حمام حکاکی بیرون می آید.

  • پاورپوینت مهارت های ده گانه زندگی

    پاورپوینت مهارت های ده گانه زندگی دانلود فایل پاورپوینت مهارت های ده گانه زندگی 1        توانایی تصمیم گیری 2.      توانایی حل مسئله 3.      توانایی تفکر خلاق 4.      توانایی تفکر نقادانه 5.      توانایی رابطه مؤثر 6.      توانایی برقراری روابط بین فردی…

  • پاورپوینت اهمیت و نقش كلیدها در شبكه برق

    پاورپوینت اهمیت و نقش كلیدها در شبكه برق دانلود فایل پاورپوینت اهمیت و نقش كلیدها در شبكه برق این پاورپوینت در 68 اسلاید می باشد  كلیدهای قدرت                —در یك پست فشارقوی كلید قدرت تقریباً یكی از اساسی ترین اجزاء آن…

  • تحقیق در مورد شرکت ایریکو

    تحقیق در مورد شرکت ایریکو دانلود فایل بخشهایی از متن: درباره شرکت شركت صنایع ریلی ایران خودرو (ایریكو) در سال 1382 توسط شركت گسترش سرمایه گذاری ایران خودرو بمنظور تولید خودروهای ریلی درون شهری و حومه ای تاسیس گردید. واگن…

  • بررسی گیاه فلفل به صورت لاتین

    بررسی گیاه فلفل به صورت لاتین,دانلود آهنگ,دانلود اندروید,دانلود پاورپوینت,دانلود پایان نامه,دانلود پرسشنامه,دانلود پروژه,دانلود سریال,دانلود فایل,دانلود فیلم,دانلود مقاله,دانلود نرم افزار,دانلود نمونه سوالات,کار در منزل,کسب درآمد اینترنتی دانلود فایل Bell peppers, Capsicum annuum are a cultivar group of annual or perennial plants…

  • ترجمه توسعه و استانداردسازی روشهای آزمایشی برای موجودات اصلاح شده ژنتیکی و مشتقات آنها

    ترجمه توسعه و استانداردسازی روشهای آزمایشی برای موجودات اصلاح شده ژنتیکی و مشتقات آنها دانلود فایل نمونه ترجمه چکیده به همان سان که تجارت GMO در سراسر جهان افزایش می­یابد، نگرانی مصرف­کنندگان در مورد ایمنی  GMOs افزایش یافته و بسیاری…

  • پروژه طراحی یک سیستم انبار داری

    پروژه طراحی یک سیستم انبار داری دانلود فایل پروژه طراحی یک سیستم انبار داری مقدمه کار انبار داری یک شغل مهم و پر مسئولیتی است. اجناس و موجودی های انبار باید تحت اختیار یک انبار دار مسئول است. اگر چه…

  • مقاله شادی

    تحقیق شادی,جامعه شناسی شادی,روانشناسی شادی,سازندگی در آزادی و غم,مدیریت شادی,مقاله شادی دانلود فایل مقاله شادی فهرست: شاد زیستن از جامعه شناسی شادی تا مدیریت شادی روانشناسی شادی و سازندگی در آزادی و غم منابع .......................................................... چکیده: در فرهنگ سیاسی مبارزه…

  • کاراموزی كارخانه ی كاشی مریم

    کاراموزی كارخانه ی كاشی مریم دانلود فایل کاراموزی كارخانه ی كاشی مریم مقدمه تمدن کهن ایران زمین سهم بزرگی در تکامل فرهنگ و تمدن بشری داشته است. سفال های به دست آمده از کاوش های باستان شناسی بر قدمت چندین…

  • کارآفرینی تأسیس آموزشگاه آشپزی نازخاتون

    آموزشگاه آشپزی نازخاتون,تأسیس آموزشگاه آشپزی,کارآفرینی تأسیس آموزشگاه,کارآفرینی تأسیس آموزشگاه آشپزی نازخاتون دانلود فایل کارآفرینی تأسیس آموزشگاه آشپزی نازخاتون مقدمه : بدون شک قویترین غریزه ای ازابتدای تولد انسان اجرا به جنب وجوش وتلاش وادار ساخت ونظام تلاش خود را درراه…

  • پایان نامه بررسی احكام فقهی و تطبیق آن با آیات قرآن درباره طهارتهای سه گانه (وضو- غسل- تیمم)

    پایان نامه بررسی احكام فقهی و تطبیق آن با آیات قرآن درباره طهارتهای سه گانه (وضو- غسل- تیمم) دانلود فایل [1]

  • پایان نامه ریشه های بدحجابی زنان

    بدحجابی,پایان نامه,پایان نامه ریشه های بدحجابی زنان,ریشه,ریشه های بدحجابی زنان,زنان,های دانلود فایل ریشه بیشتر انحرافات دینی و اخلاقی نسل جوان را در لابلای افكار و عقاید آنان باید جستجو كرد . فكر این نسل از نظر مذهبی آن چنان كه…

  • مبانی نظری و پیشینه پژوهش اضطراب و استرس (فصل 2)

    ادبیات تحقیق اضطراب و استرس,پیشینه پژوهش اضطراب و استرس,پیشینه تحقیق اضطراب و استرس,مبانی نظری اضطراب و استرس,مبانی نظری و پیشینه پژوهش اضطراب و استرس (فصل 2),مبانی نظری و پیشینه تحقیق اضطراب و استرس دانلود فایل مبانی نظری و پیشینه پژوهش…

  • بررسی شکوفایی و خلاقیت فرزندان و طریقه پرورش والدین

    بررسی شکوفایی و خلاقیت فرزندان و طریقه پرورش والدین دانلود فایل بررسی شکوفایی و خلاقیت فرزندان و طریقه پرورش والدین از طرفی مسئله خلاقیت مسئله‌ای است كه در همه كشورها اعم از پیشرفته صنعتی و یا در حال رشد مطرح…

  • مبانی نظری و پیشینه پژوهش فراشناخت (فصل دوم)

    مبانی نظری و پیشینه پژوهش فراشناخت,مبانی نظری و پیشینه پژوهش فراشناخت (فصل دوم) دانلود فایل مبانی نظری و پیشینه پژوهش فراشناخت (فصل دوم) در 78 صفحه ورد قابل ویرایش با فرمت docx توضیحات: فصل دوم پایان نامه کارشناسی ارشد (پیشینه…

  • تحقیق صنعت بیمه و گستردگی خدمات بیمه های اشیا و مسئولیت

    تحقیق صنعت بیمه و گستردگی خدمات بیمه های اشیا و مسئولیت,دانلود صنعت بیمه و گستردگی خدمات بیمه های اشیا و مسئولیت دانلود فایل صنعت بیمه و گستردگی خدمات بیمه های  اشیاء و مسئوولیت بخشهایی از متن: بخش اول  بیمة آتش…

  • پایان نامه بررسی اثر مشارکت ورزشی بر فشار روانی دانش آموزان

    پایان نامه بررسی اثر مشارکت ورزشی بر فشار روانی دانش آموزان دانلود فایل پایان نامه بررسی اثر مشارکت ورزشی بر فشار روانی دانش آموزان چكیده هدف از تحقیق حاضر بررسی اثر مشاركت ورزشی بر فشار روانی دانش آموزان پسر فوتبالیست…

  • مقاله ارزیابی نقش سرمایه اجتماعی بر سرمایه فکری کارکنان ادارات دولتی شهرستان گنبد

    مقاله ارزیابی نقش سرمایه اجتماعی بر سرمایه فکری کارکنان ادارات دولتی شهرستان گنبد دانلود فایل مقاله ارزیابی نقش سرمایه اجتماعی بر سرمایه فکری کارکنان ادارات دولتی شهرستان گنبد چکیده سرمایه اجتماعی موضوعی بین رشته های است که درسالهای اخیربه طور…

  • تحقیق جامع تولید ناب با تكیه بر اصول چهارده گانه تویوتا

    تحقیق جامع تولید ناب با تكیه بر اصول چهارده گانه تویوتا دانلود فایل فهرست مطالب:عنوان                                    صفحهمدیریت ناب تولید ناب                                    11-1 ضرورت های كسب كار در جهان امروز                        11-2 نیاز به رویكرد تولید ناب                                11-3 ساختار سلسله مراتبی رویكرد ناب                            2اهداف…

  • تعیین بهینه میزان عایق حرارتی برای اجزای پوسته‌ای ساختمانهای مسكونی در ایران

    تعیین بهینه میزان عایق حرارتی برای اجزای پوسته‌ای ساختمانهای مسكونی در ایران دانلود فایل تعیین بهینه میزان عایق حرارتی برای اجزای پوسته‌ای ساختمانهای مسكونی در ایران مقدمه تا قبل از سال 1352 شمسی (1972) كمتر اقدامی در جهت ضرفه جویی…

  • تحقیق و پژوهش-مدیریت تغییر و تحول

    تحقیق و پژوهش-مدیریت تغییر و تحول,مدیریت تغییر و تحول،مدیریت تغییر و تحولمدیریتمدیریت تغییرفرآیند تحول در سازمانهامراحل ایجاد تحولتحول سازمانیChange Managementمدیریت تحول، دانلود فایل فهرست مقدمه. 2 مدیریت تغییر. 3 الف. ماشه‌های برونی تغییر سازمانی عبارتند از: 11 ب. ماشه‌های درونی تغییر سازمانی عبارتند…

  • پایان نامه تاریخچه و مبانی نظری طراحی پارك و باغسازی

    پایان نامه تاریخچه و مبانی نظری طراحی پارك و باغسازی,تاریخچه و مبانی نظری طراحی پارك و باغسازی,مبانی نظری طراحی پارك و باغسازی دانلود فایل پایان نامه تاریخچه و مبانی نظری طراحی پارك و باغسازی قسمتی از متن: 1-1- باغهای جهان…

  • پایان نامه بررسی فقهی آسیب‏های قضائی ترمیم‏‏شده در قانون مجازات اسلامی

    پایان نامه بررسی فقهی آسیب‏های قضائی ترمیم‏‏شده در قانون مجازات اسلامی دانلود فایل پایان نامه بررسی فقهی آسیب‏های قضائی ترمیم‏‏شده در قانون مجازات اسلامی چكیده: احکام قانون مجازات اسلامی به دلیل ضرورت انطباق با نیازهای زمان از یک‏سو و دور نشدن…

  • تحقیق آفات، افت کش‌ها و محیط زیست چشم اندازی تاریخی درباره احتمال کاهش افت کش

    تحقیق آفات، افت کش‌ها و محیط زیست چشم اندازی تاریخی درباره احتمال کاهش افت کش,مقاله آفات، افت کش‌ها و محیط زیست چشم اندازی تاریخی درباره احتمال کاهش افت کش دانلود فایل تحقیق آفات، افت کش‌ها و محیط زیست چشم اندازی…

  • پژوهشی پیرامون موسیقی و رقص

    پروژه پیرامون موسیقی و رقص,پژوهشی پیرامون موسیقی و رقص,تحقیق پیرامون موسیقی و رقص,دانلود پایان نامه پیرامون موسیقی و رقص,مقاله پیرامون موسیقی و رقص دانلود فایل پژوهشی پیرامون موسیقی و رقص در 18 صفحه ورد قابل ویرایش  موسیقی و رقص از…

  • گزارش کارآموزی اجرا و ساخت ساختمانهای یك طبقه بنایی و دو طبقه اسكلت بتن

    اجرا و ساخت,دانلود گزارش کارآموزی اجرا و ساخت ساختمانهای یك طبقه بنایی و دو طبقه اسكلت بتن,دو طبقه اسكلت بتن,ساختمانهای یك طبقه بنایی,کاراموزی اجرا و ساخت ساختمانهای یك طبقه بنایی و دو طبقه اسكلت بتن,کارورزی اجرا و ساخت ساختمانهای یك…

  • طرح توجیهی سود و زیان

    پروژه کارافرینی سود و زیان,توجیه اقتصادی سود و زیان,دانلود پروژه سود و زیان,دانلود کارآفرینی سود و زیان,طرح توجیه فنی سود و زیان,طرح توجیهی سود و زیان,کارآفرینی سود و زیان دانلود فایل هر شركت تولیدی و بازرگانی برای اطلاع از اینكه…

  • پروپوزال بررسی رضایت زناشویی در بین زنان شاغل و غیر شاغل

    پروپوزال بررسی رضایت زناشویی,پروپوزال بررسی رضایت زناشویی در بین زنان شاغل و غیر شاغل,رضایت زناشویی در بین زنان شاغل,زنان شاغل و غیر شاغل دانلود فایل پروپوزال پایان نامه بررسی رضایت زناشویی در بین زنان شاغل و غیر شاغل مقدمه یکی…

  • دانلود پاورپوینت نهادهای پولی و مالی بین المللی

    ارکان تصمیم گیرنده صندوق بین المللی پول,اهداف صندوق بین المللی پول,حق برداشت مخصوص (S,دانلود پاورپوینت نهادهای پولی و مالی بین المللی,سیستم پایه طلا –ارز,سیستم پولی بر پایه طلا,سیستم پولی نرخ شناور,سیستم های پولی,شرایط حاکم بر سیستم پولی بر پایه طلا,صندوق…

  • گزارش كارآموزی مراحل تولید دارو و ارزیابی كار و زمان در شركت داروسازی

    ارزیابی كار و زمان,دارو,داروسازی,دانلود گزارش کارآموزی مراحل تولید دارو و ارزیابی كار و زمان در شركت داروسازی,شركت,کاراموزی مراحل تولید دارو و ارزیابی كار و زمان در شركت داروسازی,کارورزی مراحل تولید دارو و ارزیابی كار و زمان در شركت داروسازی,گزارش كارآموزی…

  • پایان نامه بررسی مجازاتهای جایگزین در مورد اطفال بزهكار و تطبیق آن با اسناد بین المللی

    پایان نامه بررسی مجازاتهای جایگزین در مورد اطفال بزهكار و تطبیق آن با اسناد بین المللی,پروژه بررسی مجازاتهای جایگزین در مورد اطفال بزهكار و تطبیق آن با اسناد بین المللی,تحقیق بررسی مجازاتهای جایگزین در مورد اطفال بزهكار و تطبیق آن…

  • بررسی نقش سبک بدبینانه در پیش بینی اضطراب امتحان و رضایت از زندگی دانش آموزان دوره راهنمایی

    بررسی نقش سبک بدبینانه در پیش بینی اضطراب امتحان و رضایت از زندگی دانش آموزان دوره راهنمایی,پیش بینی اضطراب امتحان و رضایت از زندگی,تحقیق و پژوهش کارشناسی ارشد (رشته روان شناسی عمومی) دانلود فایل تحقیق و پژوهش کارشناسی ارشد (رشته…

  • پایان نامه بررسی راندمان تولید علوفه در کشت مخلوط سویا و ذرت علوفه‌ای

    پایان نامه بررسی راندمان تولید علوفه در کشت مخلوط سویا و ذرت علوفه‌ای دانلود فایل بررسی راندمان تولید علوفه در کشت مخلوط سویا و ذرت علوفه‌ای فهرست فصل اول ۱ـ مقدمه………………………………………………………………………………………. ۱ ۲ـ تاریخچه کشت مخلوط در جهان و ایران…

  • سمینار برق روشهای مدل سازی نور و فازی سیستم با تقریب خطی و محلی

    سمینار برق روشهای مدل سازی نور و فازی سیستم با تقریب خطی و محلی دانلود فایل سمینار برق روشهای مدل سازی نور و فازی سیستم با تقریب خطی و محلی لطفا از این پروژه در راستای تکمیل تحقیقات خود و…

  • پایان نامه فلزات سنگین

    بررسی فلزات سنگین,پایان نامه فلزات سنگین,پروژه فلزات سنگین,تحقیق فلزات سنگین,دانلود فلزات سنگین,فلزات سنگین دانلود فایل پایان نامه فلزات سنگین خلاصه فارسی: تعداد 32 نمونه غذا ، آب منابع و عضله ماهی به منظور اندازه گیری فلزات سرب و آهن در…

  • پایان نامه آمــوزش مجــازی

    آمــوزش مجــازی,پایان نامه آمــوزش,پایان نامه آمــوزش مجــازی دانلود فایل پایان نامه آمــوزش مجــازی چكِیده: از حدود سالهای 1375 مبحث آموزش مجازی در کشور مورد توجه قرار گرفته است و طرح ملی توسعه آموزش مجازی در وزارت علوم تحقیقات و فناوری…