حكاكی لایه نازك sio2 وsi3n4

حكاكی لایه نازك sio2 وsi3n4

دانلود فایل

حكاكی لایه نازك sio2 وsi3n4 حکاکی لایه نازک SiO2 معمولاً بوسیله رقیق کردن یا Buffer کردن HF انجام می شود. حکاکی های PSG 10 بار سریع تر از اکسید رشد یافته حرارتی می باشد. حکاکی Anisotropic در مورد Si با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون در ترکیبی از C2 F6و CH3F انجام می شود. قابلیت انتخاب روی Si خوب است، امّا روی Si3N4  خوب نیست .  حکاکی لایه نازک Si3N4 حکاکی کننده تر در دمای H3PO4,140 – 200OC   می باشد. SiO2حاصل از لایه نشانی بخار شیمیایی یک ماسک حکاکی خوب است. قابلیت انتخاب روی Si خیلی خوب است. حکاکی Anisotropic برای Si3N4 با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون ( Ion assisted Plasma etching ) در ترکیبی از C2F6و CH3F انجام می شود. در میکروماشینینگ سطحی در میکرو ماشینینگ توده ای ساختارهای میکرونی به وسیله حکاکی توده ای از ویفر سیلیکون برای دستیابی به نتیجه دلخواه تشکیل می شوند. در میکروماشینینگ سطحی چندین لایه نازک روی ویفری یا هر زیر لایه مناسب دیگر قرار می گیرند. این لایه ها شامل یک ماده بنیادین مثل پلی سیلیکن و یک ماده قربانی ( Sacrifical ) مثل اکسید می باشند. این لایه ها به ترتیب لایه نشانی و حکاکی خشک می شوند. آخر سر ماده قربانی از طریق حکاکی تر حذف   می شود. لایه های بیشتر و ساختارهای پیچیده تر باعث سخت شدن فرآیند ساخت می شود. یک میله سگدست میکرو ماشین شده سطحی ساده در شکل 2 – 40 نشان داده شده است. یک لایه قربانی از اکسید روی سطح ویفر لایه نشانی شده، سپس یک لایه پلی سیلیکن لایه نشانی شده و با استفاده از روش های RIE به یک میله با یک Anchor pad الگو دهی می شود. ( شکل a ). سپس به وسیله یک حکاکی تر لایه اکسید زیر میله برداشته می شود ( شکل b ). Anchor pad از زیر Pad  برداشته شود، ویفر از حمام حکاکی بیرون می آید.

  • کارآفرینی شرکت نولیدی نرم افزار پارس

    شرکت نولیدی نرم افزار,کارآفرینی شرکت نولیدی نرم افزار,کارآفرینی شرکت نولیدی نرم افزار پارس,نرم افزار پارس دانلود فایل OHSAS 18001

  • تحقیق ژنتیک و سرطان

    تحقیق ژنتیک و سرطان دانلود فایل تحقیق ژنتیک و سرطان چکیده: سرطان یکی از شایع‌ترین و شدیدترین بیماریهای مشاهده شده در طب بالینی است. آمار نشان می‌دهد که سرطان به نوعی بیش از 3/1 جمعیت را گرفتار می‌کند، مسئول بیش…

  • مقاله معماری مساجد ایران

    مقاله معماری مساجد ایران دانلود فایل مقاله معماری مساجد ایران فهرست مندرجات بخش اول فصل اول معماری مساجد ایرانی در دروه آل بویه320-447 هجری 1-1. طرح مسجد در ایران در دوران اولیه اسلام 1-2. مسجد جامع نیریز: 1-3. معماری مساجد…

  • مقاله آلیاژهای حافظه دار

    مقاله آلیاژهای حافظه دار دانلود فایل مقاله آلیاژهای حافظه دار بخشهایی از متن: مقدمه و تاریخچه آلیاژهای حافظه دار موادی بسیار جالب با مشخصات حفظ شكل و سوپرالاستیسیته هستند كه فلزات و آلیاژهای معمولی این خاصیت را ندارند . خواص…

  • تحقیق ذوب و تصفیه فولاد

    تحقیق ذوب و تصفیه فولاد دانلود فایل تحقیق ذوب و تصفیه فولاد در حقیقت، واكنش بین اكسیژن حل شده در فولاد وكربن می باشد. دردماهای مورد استفاده برای تصفیه فولاد (تقریباً F 2900 ) ، فولاد مستعد حل كردن اكسیژن…

  • روش تحقیق بررسی عدم علاقه و توجه دانش آموزان در كلاس درس تاریخ

    پروژه بررسی عدم علاقه و توجه دانش آموزان در كلاس درس تاریخ,تاریخ,توجه,دانش آموزان,دانلود روش تحقیق بررسی عدم علاقه و توجه دانش آموزان در كلاس درس تاریخ,درس,روش تحقیق بررسی عدم علاقه و توجه دانش آموزان در كلاس درس تاریخ,عدم علاقه,كلاس,مقاله بررسی…

  • عنوان تحقیق : ازدواج

    ازدواج,عنوان تحقیق,عنوان تحقیق : ازدواج دانلود فایل عنوان تحقیق :ازدواج فهرست عنوان                                                                                                  صفحه مقدمه ..................................................................................................................................................... بخش اول................................................................................................................................................ -          مشكلات دوران كودكی ............................................................................................................. -          نظریه لورنس كلبرگ دربارة رشد............................................................................................ -          رشد از نظر اسلام ....................................................................................................................... -          مسائل مربوط به قبل…

  • پاورپوینت حسابداری صنعتی

    پاورپوینت حسابداری صنعتی دانلود فایل پاورپوینت حسابداری صنعتی به نام خدای حسابگر ، حسابساز، حسابرس و حسابدارِِِ زمین و آسمان و هر آنچه در اوست. هم او که افتتاحیه و اختتامیه همه حسابها و کتابهاست. ترازش همیشه موزون است و…

  • مقاله طرحی نو در تدریس قران

    مقاله طرحی نو در تدریس قران دانلود فایل مقاله طرحی نو در تدریس قران  مقدمه تحقیق و پژوهش یك معلم از مسائل كلاس و دغدغه‌هایش در سر كلاس درس ناشی می‌شود و در این راستا مسائل و مشكلاتی همواره در…

  • ترجمه صدف های دو کپه ای پخته و خام

    ترجمه صدف های دو کپه ای پخته و خام,دانلود ترجمه مقاله صدف های دو کپه ای پخته و خام دانلود فایل نمونه ترجمه 10.3.2 صدف­های دو کپه­ای پخته و خام پایداری و ثبات صدف دو کفه ای خام دارای پوسته…

  • پایان نامه تقسیم‌بندی صفحات وب

    پایان نامه تقسیم‌بندی صفحات وب,تقسیم‌بندی صفحات وب,صفحات وب دانلود فایل پایان نامه تقسیم‌بندی صفحات وب چکیده همانطور که می دانیم مجموع اطلاعات در دسترس روی وب بسیار زیاد می باشد و هر ساله شاهد  روندرو به رشد تصاعدی در مقدار…

  • پایان نامه و پروژه بهینه سازی روش های استخراج در معادن سنگ چینی

    پایان نامه و پروژه بهینه سازی روش های استخراج در معادن سنگ چینی دانلود فایل پایان نامه  و پروژه بهینه سازی روش های استخراج در معادن سنگ چینی در این پروژه ابتدا روش های استخراج روباز به طور کامل معرفی…

  • پاورپوینت سیاست پنهان دولت الکترونیک عربستان سعودی

    اختلاط آموزشی و رشته های مرتبط,اطلاعات پنهانی,اطلاعات محرمانه,امنیت وب,پاورپوینت سیاست پنهان دولت الکترونیک عربستان سعودی,دانشگاه ها,دانلود اندروید,دانلود پاورپوینت سیاست پنهان دولت الکترونیک عربستان سعودی,دانلود پای,دانلود مقاله,دانلود نرم افزار,سیاست پنهان دولت الکترونیک عربستان سعودی,عربستان سعودی,قانون محرمانه بودن اطلاعات,قانونهای اینترنت,کسب درآمد اینترنتی,وب…

  • GISدرعملیات های نظامی مدرن

    DSMAC,GIS,GIS درمیدان جنگ,GIS نتایج ادغام سیستم های نظامی با,GISدرعملیات های نظامی مدرن,JASSM,TERCOM,عملیات مدرن نظامی دانلود فایل

  • دانلود پاورپوینت رفتار در سازمانها

    پیامد های نارضا یتی شغلی,تئوری های رضایت شغلی,چگونه می,دانلود پاورپوینت رفتار در سازمانها,رضایت شغلی نگرش های مرتبط به شغل افراد,رضایت شغلی وانجام وظایف,سنجش رضایت شغلی,عوامل انگیزشی,نگرش دانلود فایل عنوان: دانلود پاورپوینت رفتار در سازمانها فرمت: پاورپوینت(قابل ویرایش) تعداد اسلاید: 30…

  • پژوهش بررسی نقش حالت های فراشناختی در تعلل ورزی تحصیلی دانشجویان

    بررسی نقش حالت های فراشناختی در تعلل ورزی تحصیلی دانشجویان,پژوهش بررسی نقش حالت های فراشناختی در تعلل ورزی تحصیلی دانشجویان,تحقیق و پژوهش کارشناسی دانلود فایل تحقیق و پژوهش کارشناسی  بررسی نقش حالت های فراشناختی در تعلل ورزی تحصیلی دانشجویان  …

  • پایان نامه مقابله با هک

    پایان نامه مقابله با هک دانلود فایل پایان نامه مقابله با هک مقدمه تكنولوژی اینترنت تنها به منزل و محل كار ما هدایت نشده است و در بیشتر جنبه های زندگی ما وجود دارد، بشكه های بی سیم و دست…

  • بررسی پایداری ( دوام ) در کنترل کننده ها

    بررسی پایداری ( دوام ) در کنترل کننده ها دانلود فایل بخشهایی از متن: اكثر FLC پیشنهاد شده در متنها هیچ نوع مدرك یا استدلال پایداری ندارند زیرا بررسی آنها مشكل است . با این وجود ،‌برای اینكه FLC بعنوان…

  • پایان نامه بررسی فراهنجاری های زبانی شعر شاملو

    پایان نامه بررسی فراهنجاری های زبانی شعر شاملو,دانلود,دانلود اندروید,دانلود پاورپوینت,دانلود پایان نامه,دانلود پایان نامه بررسی فراهنجاری های زبانی شعر شاملو,دانلود پرسشنامه,دانلود پروژه,دانلود طرح توجیهی,دانلود فایل,دانلود کتاب,دانلود گزارش کارآموزی,دانلود مقاله,دانلود نرم افزار,دانلود نمونه سوالات,کار در منزل,کسب درآمد اینترنتی دانلود فایل پایان…

  • سیری كوتاه در تاریخ عربستان

    سیری كوتاه در تاریخ عربستان دانلود فایل سیری كوتاه در تاریخ عربستان بخشهایی از متن: عربستان یا شبة جزیرة عربستان سرزمینی است در منتهی الیه جنوب غربی آسیا به شكل مربع مستطیل با ضلعهای نامتساوی كه بین 12 و 22…

  • بررسی مناظرات حضرت امام رضا (ع) و تطبیق آن در جامعه امروزی

    بررسی مناظرات حضرت امام رضا (ع) و تطبیق آن در جامعه امروزی,پایان نامه بررسی مناظرات حضرت امام رضا (ع) و تطبیق آن در جامعه امروزی,دانلود,دانلود اندروید,دانلود پاورپوینت,دانلود پایان نامه,دانلود پایان نامه ارشد,دانلود پایان نامه کارشناسی,دانلود پرسشنامه,دانلود پروپوزال,دانلود پروژه,دانلود پروژه پایانی,دانلود…

  • علل گرایش جوانان به اعتیاد

    دانلود آهنگ,دانلود اندروید,دانلود پاورپوینت,دانلود پایان نامه,دانلود پایان نامه علل گرایش جوانان به اعتیاد,دانلود پرسشنامه,دانلود پروژه,دانلود تحقیق,دانلود سریال,دانلود فایل,دانلود فیلم,دانلود کتاب,دانلود مدیریت,دانلود مقاله,دانلود نرم افزار,دانلود نمونه سوالات,علل گرایش جوانان به اعتیاد,کار در منزل,کسب درآمد اینترنتی دانلود فایل دانلود پایان نامه علل…

  • مبانی نظری و پیشینه پژوهش باورهای خودکارآمدی

    مبانی نظری و پیشینه پژوهش باورهای خودکارآمدی دانلود فایل مبانی نظری و پیشینه پژوهش باورهای خودکارآمدی در 68 صفحه ورد قابل ویرایش با فرمت doc توضیحات: فصل دوم پایان نامه کارشناسی ارشد (پیشینه و مبانی نظری پژوهش) همراه با منبع…

  • بررسی رابطه تاب آوری روانشناختی و کیفیت زندگی با شادکامی

    بررسی رابطه تاب آوری روانشناختی,بررسی رابطه تاب آوری روانشناختی و کیفیت زندگی با شادکامی,پایان نامه کارشناسی روانشناسی عمومی,کیفیت زندگی با شادکامی دانلود فایل پایان نامه کارشناسی روانشناسی عمومی بررسی رابطه تاب آوری روانشناختی و کیفیت زندگی با شادکامی  مقدمه روان…

  • پایان نامه تخریب اراضی دولتی در ایران

    پایان نامه تخریب اراضی دولتی در ایران دانلود فایل پایان نامه تخریب اراضی دولتی در ایران  فهرست مطالب : مقدمه فصل اول: كلیات مبحث اول: تعریف اراضی موات گفتار اول – تعریف لغوی گفتار دوم – تعریف اصطلاحی الف –…

  • پاورپوینت بررسی موارد خاص در تئوری تقاضا

    پاورپوینت بررسی موارد خاص در تئوری تقاضا,تابع تبدیل یکنواخت,تابع تقاضای جبرانی,تعریف جانشین و مکمل بودن بر مبنای مکانیسم مارشال و والراس,دانلود پاورپوینت بررسی موارد خاص در تئوری تقاضا,روابط بین كشش ها بر تقاضای عادی,شاخص,شاخص اضافه رفاه مصرف كننده (Consumer Surplus…

  • دانلود تحقیق هبلکس یا بتن سبک

    بتن hebelex,بتن سبک,بلوک هبلکس,خصوصیات بتن سبک,دانلود تحقیق هبلکس یا بتن سبک,فراوری بتن سبک,هبلکس,هبلکس یا بتن سبک چیست، دانلود فایل فهرست هبلکس چیست؟. 3 مقاومت فشاری هبلکس: 5 اجرا و نصب هبلکس: 5 مزایای فنی بلوک های بتن سبک هبلکس (HEBELEX) 6 مزایای اقتصادی بلوک های…

  • پایان نامه اثرات درمان نوروسایكولوژی در كارآمدی خواندن دانش‌آموزان مبتلا به نارسا خوانی تحولی

    اثرات درمان نوروسایكولوژی در كارآمدی خواندن دانش‌آموزان مبتلا به نارسا خوانی تحولی,پایان نامه اثرات درمان نوروسایكولوژی در كارآمدی خواندن دانش‌آموزان مبتلا به نارسا خوانی تحولی,درمان نوروسایكولوژی در كارآمدی خواندن دانش‌آموزان مبتلا به نارسا خوانی تحولی,كارآمدی خواندن دانش‌آم,وسایكولوژی در كارآمدی خواندن…

  • بررسی ارزیابی میزان اتکا معامله گران بورس اوراق بهادار تهران به اطلاعات سرمایه فکری در تصمیمات سرمایه گذاری

    ارزیابی میزان اتکا معامله گران بورس,ارزیابی میزان اتکا معامله گران بورس اوراق بهادار تهران به اطلاعات سرمایه فکری در تصمیمات سرمایه گذاری,اطلاعات سرمایه فکری,بررسی ارزیابی میزان اتکا معامله گران بورس اوراق بهادار تهران به اطلاعات سرمایه فکری در تصمیمات سرمایه…

  • ترجمه سیگنال های مغز ، تولید، استفاده و خواص

    ترجمه سیگنال های مغز ، تولید، استفاده و خواص,دانلود ترجمه سیگنالهای مغز ، تولید، استفاده و خواص دانلود فایل نمونه ترجمه 1.1مقدمهمغز بخش شگفت­آور و پیچیده بدن انسان است و به طور طبیعی مسئول کنترل تمام اندامهای دیگر است. فعالیت…

  • تحقیق مقایسه تحول جمعیت دانشجویان دانشگاه آزاد

    بررسی مقایسه تحول جمعیت دانشجویان دانشگاه آزاد,پایان نامه مقایسه تحول جمعیت دانشجویان دانشگاه آزاد,پروژه مقایسه تحول جمعیت دانشجویان دانشگاه آزاد,تحقیق مقایسه تحول جمعیت دانشجویان دانشگاه آزاد,مقایسه تحول جمعیت دانشجویان دانشگاه آزاد دانلود فایل تحقیق مقایسه تحول جمعیت دانشجویان دانشگاه آزاد…

  • اندازه گیری آلاینده های هوا

    اندازه گیری آلاینده های هوا,دانلود آهنگ,دانلود اندروید,دانلود پاورپوینت,دانلود پاورپوینت اندازه گیری آلاینده های هوا,دانلود پایان نامه,دانلود پرسشنامه,دانلود پروژه,دانلود سریال,دانلود فایل,دانلود فیلم,دانلود مقاله,دانلود نرم افزار,دانلود نمونه سوالات,کار در منزل,کسب درآمد اینترنتی دانلود فایل دانلود پاورپوینت اندازه گیری آلاینده های هوا مقدمه…

  • مقاله بررسی گچبری و تاریخچه آن

    پروژه بررسی گچبری و تاریخچه آن,تحقیق بررسی گچبری و تاریخچه آن,دانلود تحقیق بررسی گچبری و تاریخچه آن,مقاله بررسی گچبری و تاریخچه آن دانلود فایل مقاله بررسی گچبری و تاریخچه آن در 13 صفحه ورد قابل ویرایش  مقدمه هنر گچبری از…

  • گزارش کارآموزی آموزشگاه های آزاد سازمان فنی و حرفه ای

    آموزشگاه آزاد,دانلود گزارش کارآموزی آموزشگاه های آزاد سازمان فنی و حرفه ای,سازمان فنی و حرفه ای,کاراموزی آموزشگاه های آزاد سازمان فنی و حرفه ای,کارورزی آموزشگاه های آزاد سازمان فنی و حرفه ای,گزارش کارآموزی آموزشگاه های آزاد سازمان فنی و حرفه…

  • پایان نامه رابطه رنگ با تیپ شخصیتی در بین دانشجویان دانشگاه آزاد اسلامی

    پایان نامه رابطه رنگ با تیپ شخصیتی در بین دانشجویان دانشگاه آزاد اسلامی,پروژه رابطه رنگ با تیپ شخصیتی در بین دانشجویان دانشگاه آزاد اسلامی,تحقیق رابطه رنگ با تیپ شخصیتی در بین دانشجویان دانشگاه آزاد اسلامی,دانلود پایان نامه رابطه رنگ با…